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万级微纳米净化车间环境管理和和维护



净化车间,顾名思义是指空气经过净化的房间,它的设计建造是以减少室内尘粒为目的,其他参数如温度、湿度、压力等按照要求进行控制。微纳米净化车间以单位体积空气某粒径粒子的数量来区分洁净程度,一般常用的为百级车间千级车间万级车间



净化间的环境控制
净化车间的洁净环境主要是通过空气的 “过滤”来逐步实现和维持的,因此环境的控制管理是基础,主要包含四个方面。 ( 1) 控制净化车间空气的温湿度。一般室内温度控制在 21 ~ 24 ℃,湿度控制在 50 ~ 60 ,这样不仅满足人体舒适度,更重要的是仪器在这样环境下工作状态最佳。 ( 2) 保持卫生清洁。净化车间内每天做完实验后应该把实验桌面整理干净,各种实验药品和仪器记录本按照规定摆放整齐; 净化车间的卫生应该每天打扫一次,每月彻底打扫一次,尽可能地保持室内卫生洁净。 3) 用于清洗基片的化学用实验台应与用于曝光和刻蚀的实验仪器放于不同的房间,以减少环境的变化对仪器尤其是曝光仪器的影响。4) 定期对净化间进行空气质量检测,针对检测结果来进一步确定维护程序。

运行规范
( 1) 净化间内物品要摆放合理,便于操作; 尽量减少室内物品种类和个数,严格控制物品出入次数,要求物品在放入净化间前一定要擦洗干净,尽可能地减少外来物品引起的污染。 ( 2) 净化间内工作要制定严格的实验流程和操作规范,同时明确区分洁污区域。 ( 3) 净化间的空调和过滤系统最好每天 24 h 运 行,这样可以保持良好的室内洁净度。如果空调和过滤系统不能每天 24 h 连续运行,那么就需要:每次进入净化间前 30 min 打开空调和过滤系统,使其连续运行,尽可能地排尽污染颗粒,达到要求,保证空气质量。 ( 4) 要定期检测空调和过滤系统的运行情况,做好仪器的维护保养工作。每周要对抽风和回风口进行清洁,要定期地对过滤器进行检查,一般情况下,初效和中效过滤器每六个月更换一次,高效过滤器每 1 ~ 2 年更换一次,以确保灰尘过滤效果,从而达到净化间的洁净度。

人员管理
( 1) 严格控制人员进出,尽可能地减少人员进出次数。( 2) 工作人员应首先做到保持个人清洁卫生,进入净化间内不允许带贵金属、装饰品及一切化妆品; 净化间内严禁饮食; 进入净化间时需要换鞋,穿戴整齐: 超净服、口罩、手套、鞋和帽子,尤其是长发女性,一定要用网套把头发盘起来,然后戴上帽子,以免头发暴露在净化空气中。 ( 3) 净化间内所用记录纸应选用无尘纸,记录用圆珠笔。 ( 4) 工作人员进出净化间要随手关门,净化间的门要时刻保持关闭状态。 ( 5) 加强净化间工作人员理论和技能培训,明确净化间工作原理和环境维护要求,熟悉其维护基本知识,严格规范工作人员的行为和各项操作规章制度。
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